Chemically-Assisted Ion Beam Etching

英文缩写：CAIBE

英文全称：Chemically-Assisted Ion Beam Etching

中文释义：化学辅助离子束刻蚀

中文拼音：huà xué fǔ zhù lí zǐ shù kè shí

所属分类：Academic & Science

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